低溫等離子體（Plasma）應用已經是一個具有全球影響的重要的科學與工程，對高科技經濟的發展及傳統工業的改造有著巨大的影響。三分之一微電子器件設備采用等離子體技術，高分子材料百分之九十都要經過低溫等離子體清洗和等離子體表面處理。并且清洗(xi)方法(fa)屬(shu)于(yu)環保的綠色清洗(xi)方法(fa)，經等離(li)子清洗之后的(de)產品是干(gan)燥的(de)，已經不需要(yao)再經干(gan)燥處(chu)(chu)理(li)就可(ke)以直(zhi)接進行下一道工序。不僅(jin)提高整個工藝流水線(xian)的(de)處(chu)(chu)理(li)效(xiao)率，還使得用戶(hu)可(ke)以遠離(li)有害溶劑(ji)對人體的(de)傷(shang)害，同時也避(bi)免二次(ci)處(chu)(chu)理(li)損傷(shang)到產品。
 

等離子清洗機作用：

（1）表面清洗

        材料(liao)表面(mian)(mian)嘗(chang)嘗(chang)會有油脂、油污等有機(ji)物(wu)及氧化層(ceng)，在粘合、焊接前(qian)，需要用(yong)等離子處(chu)理來得到完(wan)全潔凈和無氧化層(ceng)的表面(mian)(mian)。適用(yong)于金屬、玻(bo)璃、陶瓷燈多種材料(liao)。

（2）表面刻蝕

        金屬(shu)氧化(hua)(hua)物(wu)會與(yu)處(chu)理氣(qi)(qi)體發生化(hua)(hua)學反應，這種處(chu)理要采(cai)用(yong)氫氣(qi)(qi)或者氬氣(qi)(qi)混合物(wu)。有時也采(cai)用(yong)兩步(bu)處(chu)理工藝(yi)。第一步(bu)先用(yong)氧氣(qi)(qi)氧化(hua)(hua)表面(mian)5min，第二步(bu)用(yong)氫氣(qi)(qi)和氬氣(qi)(qi)混合物(wu)去除氧化(hua)(hua)層。也可(ke)以(yi)同時用(yong)幾種氣(qi)(qi)體進行處(chu)理。在等離子刻蝕過程中，通過處理氣體的作用，被刻蝕物會變成氣化物（例如在使用氟氣對硅刻蝕時）。處理對氣體和基體氣化物質被真空泵抽出，表面連續被新鮮的處理氣體覆蓋。無需刻蝕部分應使用相應材料覆蓋起來（例如半導體行業用鉻做覆蓋材料。）

（3）表面接枝與(yu)聚合

        在等離(li)子(zi)(zi)體(ti)表面活化產(chan)生的(de)基(ji)(ji)團或等離(li)子(zi)(zi)體(ti)引發聚合層不(bu)能與材料表面牢(lao)固(gu)結(jie)(jie)合時，采用等離(li)子(zi)(zi)體(ti)接(jie)枝的(de)方法(fa)來改善。等離(li)子(zi)(zi)體(ti)接(jie)枝的(de)原理(li)為：首(shou)先利用表面活化在材料表面產(chan)生新的(de)活性(xing)(xing)基(ji)(ji)團，利用此(ci)基(ji)(ji)團與后(hou)續(xu)的(de)活性(xing)(xing)物質(zhi)產(chan)生化學(xue)共價鍵結(jie)(jie)合，后(hou)續(xu)的(de)活性(xing)(xing)物質(zhi)中帶(dai)有(you)能夠(gou)滿(man)足(zu)應用的(de)特定基(ji)(ji)團，以達(da)到(dao)既能滿(man)足(zu)表面特性(xing)(xing)又能牢(lao)固(gu)結(jie)(jie)合的(de)目的(de)。

（4）表面活化

        塑料(liao)、玻璃、陶瓷與聚乙(yi)烯（PE）、聚丙烯（PP）、聚四(si)氟（PTFE）等一(yi)樣(yang)是沒有(you)極性的，因此這些材(cai)料(liao)在印刷、粘合(he)、涂覆(fu)前要(yao)進行處(chu)(chu)(chu)理。在惰性材(cai)料(liao)表(biao)面(mian)生成活性基團(tuan)，增(zeng)強表(biao)面(mian)極性，提高表(biao)面(mian)能。等離(li)子(zi)處(chu)(chu)(chu)理與灼(zhuo)燒處(chu)(chu)(chu)理相比，不(bu)(bu)會損(sun)害樣(yang)品，同時(shi)還可以十分均勻地處(chu)(chu)(chu)理整個表(biao)面(mian)，不(bu)(bu)會產生有(you)毒煙氣(qi)，盲孔(kong)和(he)帶縫隙的樣(yang)品也可以處(chu)(chu)(chu)理。
 

等離子清洗設備的最大特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對玻璃、金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。

等離子清洗應用領域包括：

手機觸摸屏、平板電腦玻璃蓋板清洗活化
半導體集成電路及微電子產業
 LCD液晶/LED封裝,PCB線(xian)路板制造
 汽車制造、橡膠塑料產業(ye)
 生物醫療材(cai)料表面改性(xing)修飾(shi)
 精(jing)密儀器、機械及電(dian)氣制造 
 聚合物薄膜(mo)、紡(fang)織纖維改性處理

        設備范圍涵蓋半導體硅片、LCD行業、手機制造，電器制造行業、汽車制造、生物醫學、光伏光電、新能源、PCB&FPCB和國防工業的航空航天電連接器等行業的表面清洗。可以說只要是跟表面處理相關的它都可以處理，可見等離子清洗機設備的市場是廣泛的。