在微電子生產過程中，等離子清洗技術已經開始成為一種不可或缺的工藝過程。而等離子清洗設備，業內更常見的名稱為“等離子清洗機”，也(ye)開始(shi)為(wei)人所熟知。等離子清(qing)洗區別于傳(chuan)統清(qing)洗(如機械清(qing)洗、水洗與溶劑(ji)清(qing)洗)之處在于，傳(chuan)統的(de)清(qing)洗方式在清(qing)洗完成后，通(tong)常在表面仍然存(cun)在幾(ji)納米至幾(ji)十納米厚度的(de)殘(can)(can)留。而隨著精密加(jia)工工藝的(de)要求(qiu)越來(lai)越嚴苛，這些殘(can)(can)留往(wang)往(wang)會對(dui)工藝過程與產(chan)品可靠性產(chan)生(sheng)不良的(de)影響。

什么是等離子處理以及等離子處理可以做什么?

　　等離子處理用于清潔和活化表面以改善其粘附特性。等離子清洗可去除表面上的痕量有機污染物，否則會妨礙良好的附著力。同時，等離子處理活化表面，將其從低表面能狀態轉變為高表面能狀態，使其易于被粘合劑、油漆、膠水等潤濕。等離子處理解決了許多行業中附著力差的問題。如果你想要了解熟悉plasma等離子清洗機有什么作用我建議大家閱讀下這篇文章《熟悉plasma等(deng)離子清洗機有什么作用?》

　　材(cai)料表(biao)面(mian)(mian)的(de)污染物的(de)主要來源一般有(you)兩(liang)種，通過物理(li)化學方式吸附(fu)在表(biao)面(mian)(mian)的(de)外來分子與表(biao)面(mian)(mian)自然氧化層：

材料表面的污染物

物(wu)理吸附的(de)外來分子一般可以(yi)通過加熱的(de)方式使(shi)之(zhi)解(jie)吸(xi)附，而(er)化學吸(xi)附的(de)外來分子(zi)則需(xu)要比較高能化學反應(ying)過程才能將(jiang)之(zhi)解(jie)吸(xi)附脫離材料表面;

表(biao)面自然氧化層一般生成在金屬表面，會對金屬的可焊性(xing)以及與其它材(cai)料的結合(he)性(xing)能產生影響。

脫模劑、添加劑、軟化劑(增塑劑)和碳氫化合物的安全、超細清潔

　　微細等離子清潔甚至可以去除塑料中最小的灰塵顆粒，這些灰塵最初由于添加劑而牢固地粘附在表面上。等離子體使(shi)(shi)粒子(zi)從基板上完全(quan)分離。有價值的油漆或涂料(例(li)如汽車或移動(dong)通(tong)信行業)的廢品率(lv)大大降低。通(tong)過使(shi)(shi)用(yong)納米范圍內的化學-物理反(fan)應(ying)，可以獲(huo)得(de)高質(zhi)量、精確定義的表(biao)面。

使用等離子清洗的優勢：

　　1、100% 清(qing)潔

　　2、無稀釋效應(ying)(與水清洗相比)

　　3、無(wu)需額(e)外的耗(hao)材(與 CO2 束清潔相比)

　　4、清(qing)潔完整的材(cai)料結構表面形貌(mao)，而不僅僅是(shi)峰(與噴砂相(xiang)比(bi))

　　5、無需(xu)額外空間——生產線內(nei)聯集成

　　6、經濟和生(sheng)態(tai)高效的表面(mian)預處理

等離子清洗

　　等(deng)離(li)子清洗是一種經(jing)過(guo)驗(yan)證的、有(you)效(xiao)的、經(jing)濟的和對(dui)環境安(an)全的關鍵表面處理方法(fa)。與傳(chuan)統的濕法(fa)清潔方法(fa)(包括溶劑清潔殘留物本身)相比，等(deng)離(li)子清潔可(ke)消除納米級的天然和技術油脂，并將污染減少多達(da) 6 倍(bei)。等(deng)離(li)子清洗產(chan)生原始表面，可(ke)用于粘(zhan)合(he)或進一步加工(gong)，沒有(you)任何有(you)害廢(fei)料。

等離子清洗的工作原理

　　等離子體中(zhong)(zhong)產(chan)生(sheng)的紫外線在破壞表(biao)面污染物(wu)(wu)的大(da)多數有機(ji)鍵方面非常(chang)有效。這(zhe)有助于分解油和(he)油脂。通過(guo)等離子體(ti)中(zhong)(zhong)產(chan)生(sheng)的高能氧物(wu)(wu)質進行第二次清潔(jie)動作。這(zhe)些物(wu)(wu)質與有機(ji)污染物(wu)(wu)反應(ying)主要形(xing)成水和(he)二氧化(hua)碳，在處理過(guo)程中(zhong)(zhong)不斷地從腔室中(zhong)(zhong)去除(chu)(抽(chou)走)。

　　如果待等離子清洗的部件由容易氧化的材料(如銀或銅)組成，則使用惰性氣體(如氬氣或氦氣)代替。等離子體激活的原子和離子的行為就像分子噴砂，可以分解有機污染物。這些污染物在處理過程中再次蒸發并從腔室中排出。關于大氣等離子清洗的原理和作用這塊內容我建議大家閱讀下這篇文章《大氣等離子清洗機引入氧氣的原理和作用是(shi)怎樣的？》

等離(li)子清洗技(ji)術可(ke)以有效處理(li)(li)以上兩種類型的表面污染物(wu)，而(er)處理(li)(li)過(guo)程首要需要選擇合適的處理(li)(li)氣(qi)(qi)體(ti)。在等離子(zi)清洗過(guo)程中，最常(chang)用的工藝氣(qi)(qi)體(ti)為氧氣(qi)(qi)與氬氣(qi)(qi)。

氧氣在等離子環境中可以(yi)電離產生大(da)量含氧(yang)的(de)(de)(de)極(ji)性基團，可以(yi)有(you)(you)效(xiao)(xiao)去除材料(liao)表面(mian)的(de)(de)(de)有(you)(you)機污染物，并將(jiang)極(ji)性基團吸附在(zai)材料(liao)表面(mian)，有(you)(you)效(xiao)(xiao)提升材料(liao)的(de)(de)(de)結合(he)性–微電子(zi)封裝(zhuang)工(gong)藝中，塑(su)(su)封前(qian)的(de)(de)(de)等離子(zi)處(chu)理是此類(lei)處(chu)理的(de)(de)(de)典型應用。經(jing)過等離子(zi)處(chu)理的(de)(de)(de)表面(mian)具有(you)(you)更高的(de)(de)(de)表面(mian)能(neng)，可以(yi)有(you)(you)效(xiao)(xiao)與塑(su)(su)封料(liao)結合(he)，減少塑(su)(su)封工(gong)藝中分成、針孔等現象的(de)(de)(de)產生。

氬氣(qi)在等離子環境中可以生成氬離子，并利用材料表面生成的自偏壓對材料進行濺射，消除表面吸附的外來分子并可以有效去除表面金屬氧化物–在微電子過程中，打線前的等離子處理為此種工(gong)藝的典(dian)型代表。經(jing)過(guo)等離(li)子處理(li)的焊盤表面由于去除了外來污染物與金屬氧化層，可以提升后續打線工(gong)藝的良率與焊線的推拉力性能。

等離子清洗適用于：

　　1、金屬表(biao)面的(de)超精細清潔(jie)

　　2、塑(su)料和彈性體的表面處理

　　3、眼科和一(yi)般玻(bo)璃產(chan)品的(de)表面處理和清潔

　　4、陶瓷

　　5、去除表面的氧化

關于等離子清洗應用這塊內容我建議大家閱讀下這篇文章《【技術(shu)】等離子清洗技術(shu)在引線(xian)框架封裝中有哪些應用》。

　　在(zai)等離子(zi)清洗工藝過程中，除工藝氣(qi)體的選擇(ze)，等離子(zi)電源、電極結(jie)構、反應壓力等多種因(yin)素均會對處理(li)效(xiao)果(guo)產生不同的影響。在(zai)之后(hou)的介紹中，我(wo)們(men)將結(jie)合實(shi)例向大家(jia)介紹等離子(zi)在(zai)各個行業中的應用(yong)實(shi)例。

　　使(shi)用大氣等(deng)(deng)離(li)子(zi)(zi)進(jin)行干式等(deng)(deng)離(li)子(zi)(zi)清(qing)(qing)洗(xi)可(ke)以立即繼續處(chu)理(li)材料(liao)(liao)。該應用程(cheng)序允許清(qing)(qing)潔(jie)且具有(you)成本效(xiao)益的(de)整體(ti)表面(mian)預處(chu)理(li)過程(cheng)。由于等(deng)(deng)離(li)子(zi)(zi)體(ti)的(de)高能級，它可(ke)以選擇性地破(po)壞材料(liao)(liao)表面(mian)的(de)化學或有(you)機(ji)物(wu)質(zhi)結(jie)構。使(shi)用超(chao)精(jing)細清(qing)(qing)潔(jie)，甚至(zhi)可(ke)以從敏感表面(mian)上完全去除不(bu)需要的(de)物(wu)質(zhi)。這為以后的(de)涂(tu)層提(ti)供了最佳(jia)的(de)先決條件。