等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)英(ying)文(wen)是Plama，而等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)清(qing)洗(xi)機(ji)的英(ying)文(wen)叫PlasmaCleaner，中文(wen)又(you)被叫做等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)表面(mian)處理(li)機(ji)、電漿清(qing)洗(xi)機(ji)、等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)刻蝕設備(bei)、等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)清(qing)洗(xi)機(ji)/等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)處理(li)機(ji)/等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)處理(li)設備(bei)等(deng)等(deng)多(duo)種(zhong)叫法，又(you)分為真空等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)清(qing)洗(xi)機(ji)、大(da)(da)氣等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)清(qing)洗(xi)機(ji)、常(chang)壓等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)清(qing)洗(xi)機(ji)等(deng)，今天(tian)小編Rogen就(jiu)帶大(da)(da)家一(yi)起來學習一(yi)下(xia)真空等(deng)離(li)(li)(li)子(zi)清(qing)洗(xi)機(ji)的整(zheng)體清(qing)理(li)流程(cheng)吧!

　　真空等離子清洗機的整體清理流程：
 

　　1)把需要清理的(de)(de)工件送進真(zhen)空室(shi)并固定不動，開啟設備，逐漸排氣，使真(zhen)空系(xi)統的(de)(de)真(zhen)空值做(zuo)到(dao)10Pa上下的(de)(de)規范真(zhen)空值。一般排氣管(guan)時間(jian)大致需要幾(ji)分(fen)鐘(zhong)。
 

　　2)將等(deng)離子清(qing)洗(xi)氣(qi)(qi)體(ti)引(yin)進(jin)真空(kong)系統，維持腔內的壓力平穩。O2、氬氣(qi)(qi)、氡氣(qi)(qi)、N2、四(si)氟化碳等(deng)汽(qi)體(ti)可分別用以清(qing)理原材料(liao)。
 

　　3)在(zai)真空系統電(dian)(dian)(dian)極與接地(di)系統中間(jian)增加高頻率工(gong)(gong)作電(dian)(dian)(dian)壓，使(shi)(shi)空氣(qi)被(bei)穿透，根據電(dian)(dian)(dian)弧放電(dian)(dian)(dian)造(zao)(zao)成等離(li)子技(ji)術(shu)(shu)和等離(li)子技(ji)術(shu)(shu)，使(shi)(shi)真空系統造(zao)(zao)成的等離(li)子技(ji)術(shu)(shu)徹底遮蓋被(bei)處置產品工(gong)(gong)件，逐漸清理工(gong)(gong)作。一(yi)般清理解(jie)決不斷(duan)幾(ji)十秒到幾(ji)十分鐘。
 

　　4)清(qing)理后斷(duan)開開關電源，根據水環(huan)真空將汽體和汽化污漬排出(chu)來。
 

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