在我們進行等離子前處理的(de)清(qing)(qing)洗工(gong)藝當中，等離子清(qing)(qing)洗機目前無疑成為了現(xian)在市(shi)場的(de)主流。而等離子清(qing)(qing)洗機的(de)核心就是(shi)通(tong)過等離子體對物(wu)(wu)體的(de)表(biao)面進行反(fan)應(ying)(ying)來進行清(qing)(qing)洗清(qing)(qing)洗。那(nei)么(me)(me)等離子體在對物(wu)(wu)體表(biao)面清(qing)(qing)洗的(de)過程中，發生的(de)物(wu)(wu)理反(fan)應(ying)(ying)和化學反(fan)應(ying)(ying)又(you)是(shi)怎(zen)么(me)(me)回事呢?那(nei)接下來讓小編Rogen帶你來認識一下吧(ba)!
 

　　等離子體與固體表面的反應可分為物理反應和化學反應:
 

　　1、物理反(fan)應
 

　　物理反應機制是活(huo)性顆(ke)粒(li)轟(hong)擊(ji)待清潔表(biao)面，使污染物脫離表(biao)面，最終(zhong)被真空(kong)泵吸走(zou);
 

　　以物理反(fan)應為主的(de)等離(li)(li)子反(fan)應為中心的(de)等離(li)(li)子體清(qing)洗(xi)，其(qi)優點是自(zi)身沒(mei)有(you)化學反(fan)應，清(qing)洗(xi)表面沒(mei)有(you)氧化物，能(neng)夠維持被清(qing)洗(xi)物的(de)化學純度(du)的(de)缺點是對(dui)表面造成很(hen)大(da)的(de)損傷，產(chan)生很(hen)大(da)的(de)熱效應，對(dui)被清(qing)洗(xi)表面的(de)各種物質的(de)選(xuan)擇性差，腐蝕速度(du)低(di)。
 

　　2、化學反應
 

　　化(hua)學反應(ying)機(ji)制是各種活性顆粒和污染物反應(ying)產生揮發(fa)性物質，然后由真空泵吸走(zou)揮發(fa)性物質。
 

　　以化學反應為(wei)中(zhong)心的等(deng)離(li)子體清(qing)洗的優點(dian)是(shi)清(qing)洗速(su)度(du)高，選擇性(xing)好(hao)，有(you)(you)效去除有(you)(you)機污染物，缺(que)點(dian)是(shi)表面產(chan)生氧化物。與物理(li)反應相比，化學反應的缺(que)點(dian)難以克服。
 

　　而且，兩種反(fan)應機制對表(biao)面微觀形(xing)態的(de)影響明顯(xian)不同，物理反(fan)應可以使表(biao)面在(zai)分子(zi)級范圍(wei)內(nei)更加(jia)粗糙(cao)，改變表(biao)面的(de)粘接(jie)特性(xing)。
 

　　另一(yi)種(zhong)等離(li)(li)子體(ti)清(qing)洗在表(biao)面反(fan)應(ying)機(ji)制中(zhong)起著物理(li)反(fan)應(ying)和化(hua)學(xue)反(fan)應(ying)的要作用，即反(fan)應(ying)離(li)(li)子腐(fu)蝕或(huo)反(fan)應(ying)離(li)(li)子束(shu)腐(fu)蝕。兩種(zhong)清(qing)洗可以相互促進。離(li)(li)子轟擊會損壞被清(qing)洗表(biao)面，削弱(ruo)其化(hua)學(xue)鍵或(huo)形成(cheng)原(yuan)子狀態，容易吸收反(fan)應(ying)劑(ji)。離(li)(li)子碰(peng)撞(zhuang)會加熱(re)被清(qing)洗的物體(ti)，使(shi)其更容易反(fan)應(ying)。其效果是選(xuan)擇性(xing)(xing)、清(qing)洗率、均勻性(xing)(xing)和方向性(xing)(xing)好。
 

　　常見的等(deng)離子(zi)(zi)物(wu)(wu)理清(qing)洗工(gong)藝是氬等(deng)離子(zi)(zi)清(qing)洗。氬本(ben)身(shen)就是惰性(xing)氣(qi)體，等(deng)離子(zi)(zi)體的氬不(bu)與(yu)表面(mian)發生(sheng)反(fan)應，而是通過離子(zi)(zi)轟擊(ji)使表面(mian)干凈。常見的等(deng)離子(zi)(zi)化(hua)學清(qing)洗工(gong)藝是氧(yang)等(deng)離子(zi)(zi)清(qing)洗。由等(deng)離子(zi)(zi)產生(sheng)的氧(yang)自由基非常活(huo)躍(yue)，易與(yu)碳氫(qing)化(hua)合物(wu)(wu)發生(sheng)反(fan)應，產生(sheng)二氧(yang)化(hua)碳、一(yi)氧(yang)化(hua)碳和水等(deng)揮發性(xing)物(wu)(wu)質(zhi)，從而去除表面(mian)污染物(wu)(wu)。
 

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